腾龙国际客服

      腾龙国际客服科技ICP-MS（等离子体质谱剖析仪）自2020年全力推进半导体领域，近期，部分产品（科学仪器）实现集成电路制造头部企业测试，现在产品稳固运行。

       腾龙国际客服科技于2015年分拆自身质谱营业建设子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱剖析手艺平台，针对半导体行业检测需求，推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统，助力行业突破“卡脖子”要害手艺。

        半导体产品制造历程分为晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀等八大办法，涉及硅片、电子气体、光掩模、光刻胶配套化学品等多类制造质料。统计数据显示，半导体元件制造业中约50%的产率损失是由产品及质料制造流程中的微量杂质污染导致。

        ITRS（国际半导体手艺线路图）提出，在超纯水、电子化学品、电子特气、晶圆制造情形等各个环节，均需举行严酷的情形污染管控及污染物检测；怎样将污染降低到最小是半导体制程历程提升良率的难点。半导体器件生产历程中涉及的化学品种类繁多、测试元素种类众多且检测精度要求ppt量级，都对装备性能及操作职员的污染控制手艺提出苛刻要求。另外，随着半导体器件的尺寸一直缩小、芯片中元件的密度一直增添，生产历程中的污染控制也愈发严酷。

       业内人士先容称，ICP-MS手艺尤其四极杆型ICP-MS手艺具备极低的检测限和快速多元素测定功效，已逐渐成为半导体行业污染剖析实验室的标准手艺，在硅片外貌杂质剖析、超纯水、超纯试剂剖析、高纯气体剖析等多个方面应用普遍。现在，半导体行业所使用的ICP-MS基本被美国及日本厂商垄断。

       果真资料显示，谱育科技深耕高端科学仪器立异，在高端质谱领域积累了离子阱、四极杆、三重四极杆、航行时间等多个质谱剖析手艺平台。公司已建设半导体清洁实验室（100级），在2021年相继推出了冷模式ICPMS以及三重四极杆ICPMS/MS,两款装备可以实现亚ppt级别的超痕量金属检测，突破了外洋厂商对超痕量金属测试装备的垄断。别的，公司针对14nm、28nm等高端制程半导体企业开发的实时监测系统获得了各级集成电路基金的支持，其中一部分产品已经完成研发，处于样板点建设阶段。

       基于谱育科技的研发实力，腾龙国际客服科技于2020年建设半导体事业部，整合自身质谱、光谱、色谱等高细密检测剖析手艺，以及种种进样手艺和软件算法等综合能力，推出一系列解决计划，笼罩了痕量/超痕量金属污染检测、清洁室AMC在线监测、蚀刻剂近红外剖析、特气监测与预警等半导体全工业链细密检测剖析领域。

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