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产品概述
FAAS 8000ICS 在线阴阳离子监测系统接纳撞击式气体吸收手艺团结离子色谱剖析要领，实现了多点采样、气体自动吸收富集、在线质量控制等全自动在线监测功效，解决了清洁室AMC监测历程中职员投入大、数据监测频率低、数据反响不实时等问题；可应用于半导体厂区气态分子污染物（AMC）中酸性物质（MA）、碱性物质(MB)污染物的在线监测 。
产品特点
数据可靠
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动剖析、数据自动上传全流程自动化 。
阻止人工误差引入，数据准确可靠 。
迅速度高
概略积进样浓缩，大幅提高系统检测能力，检出限可达亚ppt级，缩短系统运行周期 。
监测面广
单套系统最多可设置32个点位的样品收罗；
系统通过真空泵远距离采样，可笼罩300m规模内样品的在线监测 。
设计合规
系统管路及阀组接纳清洁的聚四氟乙烯质料设计，知足SEMI F57中相关析出杂质的控制要求 。
吸收高效
在线双吸收� ？樯杓�，有利于节约样品剖析时间，数据输出更快更高效！
应用领域
FAAS 8000ICS 在线阴阳离子监测系统主要应用于清洁室情形空气中水溶性酸碱性污染物的在线监测，可扩展至大气中离子污染物的检测 。
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