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SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统
产品概述：
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处置惩罚子系统、气体监测子系统以及辅助装备和数据收罗与处置惩罚子系统等组成，如下图所示。
采样预处置惩罚子系统由多路样气传输管、采样泵和漫衍式多通道采样仪组成，可以对多个点位举行不中止实时采样，并通过管路切换实现差别采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个剖析仪组成，可以凭证差别的监测需求举行定制化的搭配，实现差别物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单位组成，可以包管整套系统的正常运行，校准单位可以按期对系统举行校准，包管监测数据的稳固和准确。
数据收罗与处置惩罚子系统可以监控盘问所有丈量信息和系统事情状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
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产品概述 产品特点 应用领域
产品概述
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处置惩罚子系统、气体监测子系统以及辅助装备和数据收罗与处置惩罚子系统等组成，如下图所示。
采样预处置惩罚子系统由多路样气传输管、采样泵和漫衍式多通道采样仪组成，可以对多个点位举行不中止实时采样，并通过管路切换实现差别采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个剖析仪组成，可以凭证差别的监测需求举行定制化的搭配，实现差别物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单位组成，可以包管整套系统的正常运行，校准单位可以按期对系统举行校准，包管监测数据的稳固和准确。
数据收罗与处置惩罚子系统可以监控盘问所有丈量信息和系统事情状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
产品特点
1.采样笼罩面广：多点位同时采样，笼罩面广，本钱低，可支持200m点位监测，多点位形成网格化剖析系统。
2.轮巡速率快：系统具备预抽功效，节约管路传输期待时间。
3.自由设置通道数目：系统可扩展，可自由设置采样点位数目。
4.样品间滋扰�。壕弑阜创倒π�.确保各路样品互不影响，低残留。
5.样品超标留样：可搭配超标留样，系统可搭配苏玛罐留样系统，当点位污染超标时自动留样。
应用领域
半导体行业检测
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