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赋能“芯”未来 | 谱育科技携自主立异产品亮相第二十一届中国国际半导体展览会
腾龙国际客服 宣布时间：2024-11-22 腾龙国际客服 泉源：微信公众号 腾龙国际客服 浏览量：4004

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11月18日至20日 ，第二十一届中国国际半导体展览会（IC CHINA 2024）在北京·国家聚会中心盛大召开 。

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作为中国半导体行业协会主理的唯一展览会 ，本届展会以 “创芯使命?聚势未来” 为主题 ，聚焦半导体工业链、供应链和超大规模应用市场 ，周全泛起半导体行业生长趋向与手艺立异效果 ，汇聚全球行业资源 。

来自半导体质料、装备、设计、制造、封测和下游应用等全工业链环节的550余家企业参展 ，涵盖众多海内外半导体龙头企业 。来自美国、日本、韩国、马来西亚、巴西等国家的半导体行业组织也分享了外地的工业动态 ，并与中方代表睁开深度交流 。

腾龙国际客服科技自主孵化子公司谱育科技应邀参展 ，携EXPEC 7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）、GDM-2100 Series半导体气体探测器等多款半导体领域的自主立异产品精彩亮相 。展会现场 ，谱育科技通过实物展收手艺解说 ，生动诠释了产品的焦点手艺优势及普遍应用 ，吸引了众多专家、客户、媒体及偕行驻足交流 。

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面临半导体行业日益增添的检测需求 ，腾龙国际客服科技及谱育科技依托二十余年在质谱、光谱、色谱等前沿手艺领域的深挚积累 ，起劲推出高度定制化、系统自动化的半导体行业专用立异产品与解决计划 ，在半导体制程金属污染检测、半导体电子特气走漏检测、清洁室气态分子污染物监测等应用领域 ，资助客户提升生产效率和产品质量 ，同时为国产科学仪器在高端检测领域的立异生长注入强劲动力 。


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半导体制程金属离子检测
EXPEC 7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪

作为“国家重大科学仪器装备开发专项”的主要效果 ，腾龙国际客服科技自2013年宣布首台单四极杆ICP-MS以来 ，一连推下手艺升级 ，乐成掌握了多个质谱剖析手艺平台 ，实现了高端质谱“国产替换”规�；牍ひ祷� 。阻止现在 ，7000系列ICP-MS累计下线超1000套 ，标记着质谱仪器在国产替换历程中取得了里程碑式突破 。


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EXPEC 7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）是公司基于十余年手艺积累推出的重磅产品 ，专为半导体行业痕量元素剖析量身打造 ，已获国际半导体协会SEMI S2认证 。
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EXPEC 7350系列接纳立异的MS/MS模式 ，有用提升滋扰消除能力 。团结三重四极杆设计、高速动态碰撞反应池、直角离子透镜、笔直等离子体等多项焦点手艺 ，产品在检测迅速度和稳固性上体现卓越 ，普遍应用于超纯湿电子化学品、电子特气及碳化硅片等领域 ，尤其在金属离子痕量剖析方面提供了可靠的解决计划 。

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完整的半导体剖析配套：百级超净实验室

芯片制造对情形和检测装备要求极为严苛 ，任何颗�；蛟又饰廴径伎赡艿贾略� ，造成重大损失 。谱育科技针对半导体行业组建专业团队 ，配备百级超净实验室 ，研发出EXPEC 7350系列整体解决计划 。该系统可实现~0.1ppt级别的痕量元素检测能力 ，可知足Grade 5级别及以上超高纯试剂中杂质检测需求 ，性能指标达国际先进水平 。通过针对超净情形的精准监控及高纯质料的质量检测 ，为国产半导体行业的稳固生产与手艺突破提供了强有力的手艺支持 。

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半导体行业应用领域

  • 硅、碳化硅、氮化镓等晶圆的外貌金属及体金属的多元素杂质的快速检测；
  • 半导体实验室剖析以及生产制程中高纯度湿电子化学品杂质元素检测；
  • 光刻胶及其相关溶剂中超痕量杂质元素快速检测；
  • 高纯铜、铝、钛、钽、钼等高纯溅射靶材中70种以上超痕量杂质元素快速检测；
  • 高纯三甲基铝、四氯化钛等重大基质前驱体中超痕量杂质元素快速检测；
  • 高纯单晶硅、多晶硅外貌金属杂质和体金属杂质元素快速检测；
  • 高纯电子特气中超痕量杂质元素快速检测 。

典范应用案例：EXPEC 7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪 助力半导体企业高效控制金属污染

EXPEC 7350 系列已乐成应用于多家大型半导体企业 。其中一家专注于宽禁带半导体质料（如碳化硅和氮化镓）的研发与晶片制造 ，对痕量金属污染的检测精度和滋扰控制有着严酷的要求 。EXPEC 7350 系列用于该企业衬底抛光片、外延片及高纯试剂中的痕量金属杂质检测 。

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EXPEC 7350系列依附笔直炬管设计和MS/MS模式 ，能够高效应对高基质样品的多原子离子滋扰 ，提供高迅速度和精准的剖析效果 。装备装置调试后 ，其检出限、稳固性、氧化物产率等性能指标所有通过验收 。经由半年使用 ，装备体现稳固 ，客户对其性能及谱育科技的售后服务给予高度认可 。


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半导体电子特气走漏检测
GDM-2100 Series半导体气体探测器

GDM-2100 Series半导体气体探测器依附先进智能传感器手艺 ，可精准侦测40多种半导体特气 ，如硅烷、磷烷、三氟化氮等 ，普遍适用于半导体制造、光伏电池生产及实验室等高要求场景 。

装备接纳通用化设计 ，兼容多种检测原理 ，降低购置本钱并提升适配性 。内置焦点处置惩罚器支持离线校准 ，即插即用 ，显著简化维护流程 。多样化供电与通讯方法 ，如24V直流供电和POE HUB供电 ，便于实时监控 。彩色TFT显示团结高亮LED和自界说显示区域 ，信息直观清晰 ，提升用户体验的同时优化清静与生产效率 。
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典范应用案例：GDM-2100 Series半导体用气体探测器护航12英寸集成电路生产线清静运行

在海内某12英寸集成电路生产线建设项目中 ，GDM-2100 Series半导体气体探测器施展着主要作用 ，助力芯片工厂实现气体走漏精准侦测与智能预警 ，周全包管生产线的清静稳固运行 。

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该项目中 ，谱育科技提供了基于多种检测手艺原理的高性能气体传感器 ，包括电化学（EC）和非疏散红外（NDIR）等手艺 ，共选用了30多种差别气体类型的气体探测器 ，笼罩芯片制造全历程中的有毒有害气体监测需求 。

这些气体探测器以其高迅速度和稳固性 ，能够实时监测气体浓度 ，快速响应走漏事务 ，为工厂构建全方位、多条理的气体清静防护网 。



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清洁室气态分子污染物监测 
AMC 1000微污染气体监测系统

AMC 1000微污染气体监测系统通过漫衍式多点采样器 ，可搭配国产先进剖析仪器 ，实现对半导体清洁室酸类（MA）、碱类（MB）、可凝聚物（MC）及挥发性有机物等的ppb级高精度监测 ，突破外洋手艺垄断 。

AMC 1000微污染气体监测系统中的气体剖析系统接纳多种国产高端剖析仪器 ，集成国标认可的先进手艺 ，包括GC-MS、CRDS、紫外荧光、化学发光、GC-PID/FID和紫外吸收法等 ，可凭证企业需求无邪定制 ，知足多样化监测需求 。

AMC 1000微污染气体监测系统检出限低至0.1ppb ，采样管路笼罩规模达200m ，支持网格化剖析 ，实现厂区情形实时监控 。特殊处置惩罚管路有用阻止样品吸附与挥发 ，团结奇异反吹功效和超标自动留样至苏玛罐验证 ，确保数据真实可靠 。�？榛杓浦С侄ㄖ苹� ，知足半导体清洁室及厂区痕量气体检测多样化需求 ，为高效生产与情形清静保驾护航 。

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AMC 1000辅助计划：移动推车式AMC监测系统

移动推车式AMC监测系统可搭配差别的剖析仪或校准仪 ，实现半导体清洁室AMC微污染气体的移动监测 。推车内部搭载大容量电池组 ，可长时间脱离市电自力运行 ，实时检测排查清洁室潜在或已有的污染源 ，可定制触屏式工控机审查实时监测数据与历史数据 。

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典范应用案例：AMC 1000微污染气体监测系统——助力晶圆厂情形监测与生产优化

海内领先的12英寸晶圆厂接纳谱育科技AMC 1000微污染气体监测系统 ，实时监测清洁室气态分子污染物 。该系统通过漫衍式多点采样器实现一连多点在线监测 ，并支持移动推车式无邪操作 ，实现了对酸类（MA）、碱类（MB）、可凝聚物（MC）、挥发性有机物等ppb级别的精准监测 ，实时反应污染物浓度转变 ，为清洁室情形治理和生产优化提供了精准可靠的数据支持 。

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AMC 1000微污染气体监测系统显著提升了生产良率 ，降低装备消耗 ，同时优化运营本钱 。通过周全包管晶圆制造情形的稳固性 ，该系统为企业生产提供了高效可靠的手艺包管 。


腾龙国际客服科技始终坚持自主立异 ，一连加大研发投入 ，专注于攻克手艺瓶颈、突破性能极限 ，为半导体行业提供更高效、更精准的解决计划 ，助力客户应对重大挑战、实现生产优化 。腾龙国际客服科技将以手艺深度赋能行业生长 ，以应用广度拓展市场空间 ，周全提升国产高端科学仪器在高端检测领域的焦点竞争力 ，为半导体行业高质量生长注入强劲动能 ，为建设科技强国、加速实现高水平科技自主自强孝顺实力 。





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